- 中文名稱 : 雷射探頭模組
- 文物詳細資料
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功能 / 用途:量測範圍為0 mm至20 mm 、解析度1um 。
此設備可提供精密的位移量測資訊,使用於精密量測儀器可進行精密的位移量測。 -
特色:利用分光鏡將雷射光分成參考與量測兩束光路,投射於反射鏡反射回來的雷射光束重合後產生干涉干涉條紋影像。藉由探頭帶動量測光束接觸待測工件時兩光束之光程差,可求得探頭的位移量並計算求得工件的長度。
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尺寸:45 cm X 36 cm X 16 cm
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類別:檢驗
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製造者:SIOS
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製造地(國家):德國
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完成年代:民國 88 年
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