表面形貌圖樣分析 1.Scanning mode: AFM, LFM, EFM, MFM, Phase, Force, Litho.。 2.Scanning range (X, Y, Z): 80 μm × 80 μm × 5μm以上(含)。 3.Scanning Resolution (X, Y, Z): X,Y:小於1 nm，Z 小於0.1 nm。

多功能掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope)功能為表面形貌圖樣分析： 1.Scanning mode: AFM, LFM, EFM, MFM, Phase, Force, Litho.。 2.Scanning range (X, Y, Z): 80 μm × 80 μm × 5μm以上(含)。 3.Scanning Resolution (X, Y, Z): X,Y:小於1 nm，Z 小於0.1 nm。為美國製造，製造商為QUESANT INSTRUMENT CPRPORATION製造。 多功能掃描探針顯微鏡其原理為掃描顯微鏡上之探針，藉由Z軸壓電陶瓷之作動搭配XY雙軸移動平台之移動，進行掃描光柵待校件之表面形貌圖像。後續再藉由光柵圖像進行線距分析。此設備代表台灣早期度量衡相關量測工具與量測產業發展器具，見證90年代我國量測用科技文化產業發展技術與產業之演變，具有歷史價值，表徵產業發展的文物，可做為我國度量衡相關量測工具與科技文化資產之研究。

43 cm X 43 cm X 18 cm

檢驗

QUESANT INSTRUMENT CPRPORATION

美國

2003