奈米技術研發所用。移動行程:100 µm ；全行程直線度0.3 um；負重:至少5kg ；運動軸X、Y 、θz ；運動軸都有控制定位。

國家度量衡標準實驗室目前已建立了15項領域量測標準，分別為:(1)電磁標準 (2)光學標準 (3)微波標準 (4)溫度標準 (5)濕度標準 (6)化學標準 (7)振動標準 (8)聲量標準 (9)長度標準 (10)質量標準 (11)真空標準 (12)力量標準 (13)壓力標準 (14)流量標準 (15)電量標準。

此物件屬於長度標準的領域。國家度量衡標準實驗室之長度標準已完成碘穩頻紅光氦氖雷射，建立原級標準，與國際同步。建立端點、尺寸等角度的實體之量測標準，可提供塊規、線刻度、環塞規、真圓度、表面粗糙度、經緯儀、電子測距儀等主要標準儀／具之校正或量測服務，並可輔導業界從事實驗室能量規劃、線上量測、及技術能力之提升。物件移撥前由「標準與技術發展組」下之「精密/動態工程計量研究室」使用及保管。

12 cm X 12 cm X 3 cm

度量衡

PI

德國

2002

工研院量測中心